國家標(biāo)準(zhǔn)對表面粗糙度測量的要求是實(shí)現(xiàn)三維測量，而光散射原理正好與之吻合，

它可實(shí)現(xiàn)表面的面積采樣，同時所形成的散射光帶光能分布和表面微觀形貌高度變化有較清晰的對應(yīng)關(guān)系。利用光散射法測量表面粗糙度可滿足快速動態(tài)、高精度、無損檢測及抗干擾性能強(qiáng)的要求。還有不少學(xué)者提出以其作為表面粗糙度基本儀器來改變基于傳統(tǒng)觸針式儀器的形狀，從而推動新原理、新儀器的發(fā)展，滿足生產(chǎn)實(shí)際的需要。基于這種原理，人們提出了一種激光散射法在線檢測表面粗糙度的方法。

   圖11.10所示為激光散射法在線檢測表面粗糙度的光學(xué)原理圖，半導(dǎo)體激光器1輸出光功率為3 mW、波長為780 nm的光束，該激光束通過偏振片3成為線偏振光，偏搌方向平行于紙面，分光鏡11將光束一分為二，其中反射光占大部分。經(jīng)分光鏡11反射的一束光為測量光束，該光束經(jīng)平面鏡4反射，調(diào)整分光鏡11和平面鏡4的角度，使該光束經(jīng)平面鏡4反射后，后由圖11.10所示的位置入射到測量透鏡6(廠=40 mm，D=30 mm)上，經(jīng)測量透鏡6會聚后，到達(dá)工件表面，經(jīng)工件表面散射后，形成與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。